【技術(shù)簡(jiǎn)介】通過(guò)對(duì)外延設(shè)備在硅片上再生長(zhǎng)一層外延層的控制、不同的參雜等，可滿足不同客戶的產(chǎn)品需求。外延工藝是以 SiHCl3為源，通過(guò)中頻加熱方式進(jìn)行氣相淀積，電阻率、厚度、均勻性和重復(fù)性均能得到較好的控制。

　　【技術(shù)特點(diǎn)】已完全掌握6～8英寸硅外延工藝和技術(shù)，產(chǎn)品及工藝技術(shù)水平國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，國(guó)際先進(jìn)，不存在新的技術(shù)難題。已有多個(gè)6～8英寸產(chǎn)品，產(chǎn)品性能在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地位，達(dá)到甚至優(yōu)于國(guó)外同類產(chǎn)品水平。

　　【技術(shù)水平】五十五所國(guó)盛公司是國(guó)內(nèi)最早批量生產(chǎn)硅外延片、技術(shù)成熟和發(fā)展迅速的外延廠商之一，第一批認(rèn)定的國(guó)家鼓勵(lì)的集成電路企業(yè)，具有較強(qiáng)的硅外延片設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)能力，擁有了自主研發(fā)的批生產(chǎn)技術(shù)和多項(xiàng)專利，并主持制定了多項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。產(chǎn)品種類豐富，4、5、6、8英寸兼有，并在國(guó)內(nèi)P型外延片和MOSFET用外延片市場(chǎng)處于領(lǐng)先地位。

　　【可應(yīng)用領(lǐng)域和范圍】硅外延片是制作半導(dǎo)體器件和集成電路的關(guān)鍵材料，可以廣泛應(yīng)用在消費(fèi)電子、計(jì)算機(jī)與外設(shè)、網(wǎng)絡(luò)通訊設(shè)備及儀器儀表、汽車電子、顯示器以及電子照明等多個(gè)方面。

　　【專利狀態(tài)】核心技術(shù)獲授權(quán)發(fā)明專利3項(xiàng)。

　　【技術(shù)狀態(tài)】批量生產(chǎn)階段

　　【合作方式】合作開(kāi)發(fā)

　　【投入需求】外延設(shè)備及輔助設(shè)備采購(gòu)共需投入1.68億元。

　　【預(yù)期效益】達(dá)產(chǎn)后新增產(chǎn)能120萬(wàn)片/年（等效六英寸），實(shí)現(xiàn)年銷售收入33600萬(wàn)元，平均凈利潤(rùn)每年4500萬(wàn)元。

　　【聯(lián)系方式】劉洋  025-86858681