【技術簡介】全國三大石油公司，中國石油、中國石化和中國海洋石油總公司對檢波器年使用量約500萬只,檢波器的年更換率一般高于15%。

　　本項目是將軍用制導、導航用的高精度MEMS加速度傳感器通過技術、降低成本、批量制造、應用驗證，實現在石油勘探、煤礦勘探領域的應用，打破國外公司在該領域的技術壟斷。

　　河北美泰電子科技有限公司是中國電科十三所控股的高技術公司，已研制出高分辨率MEMS加速度傳感器，分辨率達到1μg，頻率響應0～1kHz，基于高分辨率MEMS加速度傳感器和數字信號處理技術，研制出數字地震檢波器。突破了MEMS加速度傳感器芯片結構設計技術，采用差動信號檢測，提高了穩定性；突破了三層SOI體硅加工和圓片級真空封裝技術，降低了材料應力，提高溫度穩定性，實現了圓片級真空封裝；研制出高分辨率MEMS加速度傳感器配套ASIC調理電路，減少了信號干擾，縮小了體積，降低了成本。

　　美泰公司擁有MEMS超凈廠房2000平米、建有一條6英寸MEMS工藝線，擁有世界一流的加工和測試設備。2015年將建成15000m2、0.5μm、6英寸MEMS生產線。

　　【技術特點】本項目采用MEMS梳齒電容方案代替傳統的動圈式和壓電式，具有小體積重量、低功耗、零頻響、高分辨率、智能化的突出優點。動圈式傳感器低頻性能差，1Hz以下噪聲急劇增加，低于0.17Hz的振動信號不能識別，無法滿足石油浴勘探隊超低頻和寬帶寬的需求；壓電式傳感器低頻性能差，10Hz以下噪聲急劇增加。另外，MEMS加速度傳感器可批量制造、成本低、體積小、產品重復性好。由于MEMS加速度傳感器的突出優點在數字檢波器領域，MEMS電容式加速度傳感器是技術發展趨勢。

　　國內的MEMS高精度數字檢波器研究處于樣品研制階段，主要單位有威海雙豐、上海微系統所、北京大學、河北美泰電子科技有限公司等單位。河北美泰在高精度MEMS加速度傳感器方面的技術，來源于中國電科十三所，自1996年開始，承擔了國家MEMS加速度傳感器相關領域的重大專項、預研、型號研制等項目50多項，在產品技術指標、工程型號應用、批量制造能力等方面均處于領先水平，產品的主要技術指標達到國際先進水平。

　　【技術指標】

　　分辨率：≤1×10-6g；
　　帶寬：0～1kHz；
　　靈敏度：1000±20mV/g；
　　零位輸出：2500±100mV；
　　交叉耦合：≤3%；
　　量程：±2g；
　　閾值：≤1×10-6g。
　　工作溫度范圍：-40℃～+85℃；
　　存儲溫度范圍：-55℃～+125℃；
　　沖擊：2000g。

　　【技術水平】國際先進

　　【可應用領域和范圍】主要應用于石油勘探、煤礦勘探等領域。也可應用于地震監測、地下文物保護等領域。

　　【專利狀態】已取得專利8項

　　【技術狀態】小批量生產、工程應用階段

　　【合作方式】合作開發  融資需求

　　【投入需求】5000萬元

　　【轉化周期】2年

　　【預期效益】國家正在開展東部老油區的“二次”精細勘探、西部的大規模地質探查，全國三大石油公司，中國石油、中國石化和中國海洋石油總公司對檢波器年使用量約500萬只,檢波器的年更換率一般高于15%。

　　本項目完成后，達到年產50萬只的生產能力，銷售不少于20萬只，實現銷售輸入1億元。

　　本項目的實施，將提高我國MEMS傳感器領域的核心自主可控能力，增強我國石油勘探行業的安全和核心競爭力。

　　【聯系方式】徐愛東0311-87091146/13831155655