透明導(dǎo)電薄膜是指那種對(duì)可見光的平均透過率高（T ≥80%）、電阻率低（ρ≤10-3Ωｃｍ）的薄膜，在太陽能電池、平板顯示器、薄膜晶體管、氣敏元件、抗靜電涂層等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。傳統(tǒng)的透明導(dǎo)電薄膜是指氧化銦錫(俗稱 ITO)，ITO 中其透過率和電阻率分別由 SnO2In2O3之比來控制，一般 SnO2:In2O3=1:9。由于銦是一種稀缺金屬，近年來人們一直在探索其他的替代材料。Zn 是地殼中蘊(yùn)藏量較豐富的一種元素，本項(xiàng)目采用磁控濺射法和溶膠-凝膠法制備的摻鋁氧化鋅(AZO)透明導(dǎo)電薄膜，對(duì)可見光平均透過率大于 90％，電阻率低于 5×10-4Ωｃｍ，具有廣闊的應(yīng)用前景。已發(fā)表科研論文十多篇。      技術(shù)特點(diǎn)：1.利用磁控濺射技術(shù)結(jié)合原位加熱方法，在玻璃襯底上生長(zhǎng)高質(zhì)量 AZO 薄膜；2.利用磁控濺射技術(shù)通過調(diào)節(jié)生長(zhǎng)氣壓和射頻功率，在室溫下柔性襯底上制備高質(zhì)量 AZO 薄膜；3采用對(duì)設(shè)備要求低、原材料價(jià)格低廉的溶膠-凝膠法制備技術(shù)；4. 特殊氣氛下熱處理技術(shù)；5. 場(chǎng)誘導(dǎo)結(jié)晶技術(shù)。      應(yīng)用領(lǐng)域與前景：太陽能電池電極和觸摸顯示屏等的制備，替代進(jìn)口產(chǎn)品，降低相關(guān)器件的制備成本。