合作信息
亞納米激光工業檢測與計量系統
發布單位：哈爾濱工程大學
所屬行業：電子信息
合作信息類型：成果轉讓
機構類型：高等院校
供求關系：供應
合作信息期限：2015-12
參考價格：面議
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合作信息簡介
亞納米激光工業檢測與計量系統是利用偏振激光干涉測量原理，實現對微小位移和振動的高精度非接觸式測量，系統的測量分辨率可達0.1nm，振幅測量重復精度3～5nm，還可用于長度、速度、加速度等物理參數的測量。該系統具有精度高、測量范圍大、檢測時間短、非接觸式等優點，測量效率更高、不損傷測量表面、不易受被測對象表面狀態影響。其主要技術指標如下：
（1）分辨率：優于10pm（5～500Hz）；
（2）動態范圍：優于150dB（5～500Hz）；
（3）頻率范圍：5～1000Hz（可擴展）；
（4）測量維數：x-y二維；
（5）系統預熱：30分鐘；
（6）工作溫度：10～40℃（工作時溫度變化小于1℃）；
（7）體積：700×700×1200（mm3），（可縮小Φ300×1200）；
（8）其他：光學主體密封。
