【技術(shù)簡介】濺射薄膜壓強(qiáng)傳感器技術(shù)主要由濺射薄膜壓強(qiáng)傳感器敏感結(jié)構(gòu)、金屬納米薄膜敏感芯體批量生產(chǎn)工藝及多功能智能信號(hào)處理技術(shù)構(gòu)成，其核心是敏感器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及其離子束濺射成型工藝。離子束濺射是采用低能加速器轟擊，動(dòng)能轉(zhuǎn)換搬遷原子薄膜淀積技術(shù)，將納米薄膜應(yīng)變電阻直接制作在和金屬彈性體緊密結(jié)合的陶瓷絕緣膜上，實(shí)現(xiàn)了敏感元件與絕緣膜、金屬彈性體和絕緣膜的原子結(jié)合。在此基礎(chǔ)上結(jié)合離子束刻蝕工藝以及微機(jī)械加工工藝，制成了納米薄膜壓力傳感器，使之具有高穩(wěn)定性、溫度范圍寬的本質(zhì)特性，是傳統(tǒng)的硅半導(dǎo)體壓強(qiáng)傳感器所無法匹敵的。結(jié)合優(yōu)秀的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，濺射薄膜傳感器就具備了體積小、可靠性高、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)等突出的優(yōu)點(diǎn)，非常適合油田、工程機(jī)械、航空航天、軍工等對(duì)傳感器可靠性和長期穩(wěn)定性要求高的應(yīng)用領(lǐng)域。同時(shí)，為了適應(yīng)智能化、網(wǎng)絡(luò)化測試的技術(shù)發(fā)展需要，創(chuàng)造性的集成開發(fā)了具備物聯(lián)網(wǎng)特征的服務(wù)功能。經(jīng)成果鑒定，達(dá)到了國內(nèi)領(lǐng)先的技術(shù)水平，與國外同類高端產(chǎn)品相比具有明顯的成本優(yōu)勢，完全可以替代進(jìn)口。
【主要技術(shù)指標(biāo)】
(1）測量壓力范圍：0～60MPa；
(2）測量精度：優(yōu)于0.05%；
(3）長期穩(wěn)定性：優(yōu)于0.01%FS/年；
(4）溫度范圍：-55℃～300℃；
(5）功耗不大于0.1W；
(6）過載能力：2倍滿量程壓力；
(7）工作壽命：≥15年；
(8）信號(hào)制式：模擬式（電壓、電流）
數(shù)字式（多種數(shù)字接口、網(wǎng)絡(luò)接口）。
【適用范圍】陜西電器研究所開發(fā)的濺射薄膜壓強(qiáng)傳感器以其高穩(wěn)定度、環(huán)境適應(yīng)適應(yīng)能力強(qiáng)、價(jià)格低、高精度和信號(hào)制式靈活的特點(diǎn)，完全可以替代目前占絕對(duì)優(yōu)勢地位的進(jìn)口壓強(qiáng)傳感器產(chǎn)品，在石油化工、工程機(jī)械、汽車、航空航天、市政、軍工等領(lǐng)域內(nèi)都有著廣闊的應(yīng)用前景。隨著產(chǎn)品系列化的延伸和智能化、網(wǎng)絡(luò)化提升后，該產(chǎn)品將融合定位、網(wǎng)絡(luò)接入、多傳感器聯(lián)合判斷、數(shù)據(jù)暫存、自我管理等特性，支撐以智能、泛在為標(biāo)志的各種類型的工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用。
【專利狀態(tài)】申報(bào)專利３項(xiàng)。
【技術(shù)狀態(tài)】批量生產(chǎn)、成熟應(yīng)用階段
【合作方式】合作開發(fā)
【預(yù)期效益】預(yù)計(jì)全國市場（航空、航天等國防領(lǐng)域，油田、汽車、冶金等民用領(lǐng)域）對(duì)本產(chǎn)品的年需求量為50萬臺(tái)以上。薄膜傳感器售價(jià)約為0.2萬元/套，陜西電器研究所按年銷售量15000套計(jì)算，可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值0.3億元。
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