合作信息
新型MEMS微納電容式多功能傳感器芯片的產業化
發布單位：中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
所屬行業：電子信息
合作信息類型：意向合作
機構類型：科研院所
供求關系：供應
合作信息期限：2017-6
參考價格：面議
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合作信息簡介
本項目創新性地研制MEMS集成壓力/拉力/位移檢測的多功能、高分辨率、和高靈敏度的微納電子傳感器芯(Micro/Nano-electronic Sensor Chips)，將填補國際上在微納尺度應用于多功能傳感檢測的空白。本產品系利用微機電系統(MEMS)設計和加工技術的特殊優勢，借助UV-LIGA(光刻、電鑄)技術，通過可變電容和機械式正弦形彈簧相結合的方式實現微納MEMS傳感芯片的大規模制備。該新型傳感器通過可變電容和機械式正弦形彈簧相結合的方式測量微力和位移，操作方便，價格低廉，精度高，發展前景好，市場潛力大。
合作方式面議
聯系單位中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
聯系人周揚
聯系電話13912612332
郵箱yangzhou2008@sinano.ac.cn
合作方式面議
聯系單位中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
聯系人周揚
聯系電話13912612332
郵箱yangzhou2008@sinano.ac.cn
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聯系單位中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
聯系人周揚
聯系電話13912612332
郵箱yangzhou2008@sinano.ac.cn
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聯系單位中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
聯系人周揚
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郵箱yangzhou2008@sinano.ac.cn
