成果名稱：大面積并聯高密度感應耦合等離子體源

　　成果簡介：

　　本專利公開了一種大面積并聯高密度感應耦合等離子體源，包括射頻電源、匹配網絡、外置天線和真空腔體等。采用了創新的感應天線的繞制方法，提高了射頻功率的耦合效率，增強了等離子體密度，改善了其放電均勻性，設計與制作簡單，成本低廉。

　　技術指標：

　　在700W射頻功率的條件下，Ar等離子體密度超過1011cm-3，表面處理的均勻性好于85%。

　　應用領域：

　　各種樣品表面的快速等離子體真空處理、薄膜生長等。

　　合作方式：面議。

　　聯系方式：

　　蘇州大學科學技術與產業部 0512-67165732