成果簡(jiǎn)介成果名稱：通訊InGaAs/InP PIN光電探測(cè)器芯片

　　成果擁有單位：廈門大學(xué)

　　成果簡(jiǎn)介：

　　特點(diǎn)：暗電流低。利用異質(zhì)結(jié)分離效應(yīng)，光敏直徑75微米芯片的暗電流可達(dá)到0.1nA。光響應(yīng)度高。1310nm 達(dá)0.85～0.90 A/W,1550nm達(dá)0.95～1.05 A/W。頻率高。光敏直徑75微米芯片的截止頻率為2.5GHz以上。性能可靠。采用氧化鋁為鈍化掩膜，芯片性能在10年以上。制造成本低。采用開(kāi)管鋅擴(kuò)散工藝，大大節(jié)省了成本和時(shí)間。

　　本芯片制造技術(shù)已經(jīng)逐漸成熟，完成了實(shí)驗(yàn)室小試、中試，工業(yè)化試生產(chǎn)，以及小批量供應(yīng)國(guó)內(nèi)外用戶使用得到好評(píng)。正在進(jìn)行專利申請(qǐng)，制定產(chǎn)品的企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，并進(jìn)行項(xiàng)目鑒定。光電探測(cè)器是將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的主要器件，廣泛應(yīng)用在光纖通信網(wǎng)絡(luò)的光交換機(jī)、光接收端機(jī)、中繼站，移動(dòng)通信網(wǎng)絡(luò)的光直放站，計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)中的光纖收發(fā)器、光纖網(wǎng)卡、光交換機(jī)、光集線器，有線電視網(wǎng)絡(luò)的光接收機(jī)、光工作站、中繼站等設(shè)備中和半導(dǎo)體激光器穩(wěn)定驅(qū)動(dòng)電路中。總之，只要有光和光纖的地方就需要有光電探測(cè)器。投產(chǎn)條件：作伙伴最好是半導(dǎo)體器件廠家，已經(jīng)具有平面工藝生產(chǎn)線設(shè)備。投產(chǎn)資金：600～1000萬(wàn)元(含設(shè)備和流動(dòng)資金，不含土建)。預(yù)期經(jīng)濟(jì)效益：成本預(yù)算：國(guó)產(chǎn)2英寸InGaAs/InP 外延片約 6000元/片，進(jìn)口約8000～12000元/片。芯片工藝成本約1000元/片。芯片產(chǎn)值預(yù)計(jì)：每個(gè)外延片約有8100個(gè)管芯，按成品率75%計(jì)算，可產(chǎn)管芯6000只。以最常見(jiàn)的光敏直徑75微米芯片為例，最低單價(jià)管芯1.5美元/只。一片2英寸外延片可獲產(chǎn)值約7萬(wàn)元，利潤(rùn)約4～5萬(wàn)元。按設(shè)備能力每天至少可生產(chǎn)一片，如果有定單可在2年內(nèi)回收投資。

　　合作方式：技術(shù)轉(zhuǎn)讓或合作開(kāi)發(fā)。

　　聯(lián)系方式：

　　聯(lián) 系 人：陳 朝

　　電話：0592-2182458(O);2180940(H)

　　E - mail ：cchen@xmu.edu.cn