合作信息
耐深紫外激光輻照特種玻璃
發(fā)布單位：廈門大學(xué)
所屬行業(yè)：新材料
合作信息類型：意向合作
機(jī)構(gòu)類型：高等院校
供求關(guān)系：供應(yīng)
合作信息期限：2016-4
參考價格：面議
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合作信息簡介
成果名稱：耐深紫外激光輻照特種玻璃
成果擁有單位：廈門大學(xué)
成果簡介：
耐ArF、F2深紫外激光輻照特種石英玻璃。ArF準(zhǔn)分子激光193nm的透過率大于90%。F2準(zhǔn)分子激光157nm的透過率大于80%。ArF、F2深紫外激光輻照時，玻璃不產(chǎn)生結(jié)構(gòu)缺陷，不發(fā)出紅色熒光。掌握了控制性能的關(guān)鍵技術(shù)。除了純度以外，OH、H2含量范圍、均勻性的控制及其關(guān)鍵技術(shù)。應(yīng)用于深紫外光刻、光制導(dǎo)等。根據(jù)要求形狀以及尺寸，投產(chǎn)條件不同。
合作方式：各種研發(fā)合作方式，歡迎洽談。
聯(lián)系方式：
聯(lián) 系 人：周忠華
電話：13656008137
E-mail：zzh@xmu.edu.cn
成果擁有單位：廈門大學(xué)
成果簡介：
耐ArF、F2深紫外激光輻照特種石英玻璃。ArF準(zhǔn)分子激光193nm的透過率大于90%。F2準(zhǔn)分子激光157nm的透過率大于80%。ArF、F2深紫外激光輻照時，玻璃不產(chǎn)生結(jié)構(gòu)缺陷，不發(fā)出紅色熒光。掌握了控制性能的關(guān)鍵技術(shù)。除了純度以外，OH、H2含量范圍、均勻性的控制及其關(guān)鍵技術(shù)。應(yīng)用于深紫外光刻、光制導(dǎo)等。根據(jù)要求形狀以及尺寸，投產(chǎn)條件不同。
合作方式：各種研發(fā)合作方式，歡迎洽談。
聯(lián)系方式：
聯(lián) 系 人：周忠華
電話：13656008137
E-mail：zzh@xmu.edu.cn
