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MEMS檢測及微操作系統(tǒng)
關(guān)鍵字：
MEMS檢測
所屬行業(yè)：
機械
發(fā)布時間：
2014-11-07
價格：
所在地區(qū)：
黑龍江 哈爾濱
合作信息期限：
2015年12月
合作信息類型：
成果轉(zhuǎn)讓
機構(gòu)類型：
高等院校
供求關(guān)系：
供應(yīng)
合作信息簡介：
主要完成一個自動化的MEMS封裝和檢測系統(tǒng)。封裝主要是完成0-20mm的兩個極板的對準(zhǔn)和粘接，粘接是在對準(zhǔn)后，通過加壓，使極板與芯片接觸并并粘合；檢測主要是完成0-20mm的MEMS芯片的表面非接觸檢測，包括：表面形貌（主要指粗糙度）、各種溝槽的三維幾何測量。 技術(shù)指標(biāo) 1、封裝技術(shù)指標(biāo) ..
發(fā)布機構(gòu)：
哈爾濱工業(yè)大學(xué)
共
1
頁 總數(shù)：
2
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