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大尺寸硅外延生產(chǎn)技術(shù)
關(guān)鍵字：
大尺寸
硅外延
生產(chǎn)技術(shù)
所屬行業(yè)：
新材料
發(fā)布時(shí)間：
2015-03-02
價(jià)格：
所在地區(qū)：
江蘇 南京
合作信息期限：
2016年2月
合作信息類型：
意向合作
機(jī)構(gòu)類型：
企業(yè)
供求關(guān)系：
供應(yīng)
合作信息簡(jiǎn)介：
【技術(shù)簡(jiǎn)介】通過(guò)對(duì)外延設(shè)備在硅片上再生長(zhǎng)一層外延層的控制、不同的參雜等，可滿足不同客戶的產(chǎn)品需求。外延工藝是以 SiHCl3為源，通過(guò)中頻加熱方式進(jìn)行氣相淀積，電阻率、厚度、均勻性和重復(fù)性均能得到較好的控制。 【技術(shù)特點(diǎn)】已完全掌握6～8英寸硅外延工藝和技術(shù)，產(chǎn)品及工藝技術(shù)水平國(guó)內(nèi)..
發(fā)布機(jī)構(gòu)：
中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所
共
1
頁(yè) 總數(shù)：
2
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