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系列羅茨干式真空泵機(jī)組

關(guān)鍵字：羅茨干式真空泵機(jī)組

所屬行業(yè)：其他

發(fā)布時(shí)間：2015-12-15

價(jià)格：

所在地區(qū)：遼寧沈陽(yáng)

合作信息期限：2017年4月

合作信息類(lèi)型：意向合作

機(jī)構(gòu)類(lèi)型：科研院所

供求關(guān)系：供應(yīng)

合作信息簡(jiǎn)介：該成果解決了潔凈真空獲得系統(tǒng)與集成電路制造工藝的優(yōu)化組合、理論型線設(shè)計(jì)與多種轉(zhuǎn)子形式的組合、密封結(jié)構(gòu)和振動(dòng)/噪聲抑制技術(shù)、表面防腐技術(shù)、控制/反饋軟件與通用控制接口結(jié)合、電機(jī)與驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)等關(guān)鍵技術(shù)，具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，可應(yīng)用于標(biāo)準(zhǔn)/中度腐蝕/強(qiáng)度腐蝕等各種工藝環(huán)境，技術(shù)水平達(dá)到..

發(fā)布機(jī)構(gòu)：中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司

共1頁(yè) 總數(shù)：2條

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