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4英寸快速熱處理設(shè)備簡(jiǎn)介
關(guān)鍵字：
快速熱處理
所屬行業(yè)：
機(jī)械
發(fā)布時(shí)間：
2014-10-17
價(jià)格：
所在地區(qū)：
北京 海淀區(qū)
合作信息期限：
2015年12月
合作信息類(lèi)型：
成果轉(zhuǎn)讓
機(jī)構(gòu)類(lèi)型：
高等院校
供求關(guān)系：
供應(yīng)
合作信息簡(jiǎn)介：
RTP（快速熱處理設(shè)備）是逐漸廣泛應(yīng)用于硅及其化合物半導(dǎo)體材料離子注入后的退火，硅化合物的形成，歐姆接觸制備以及快速氧化、北京航空航天大學(xué)科研推廣項(xiàng)目匯編快速氮化等工藝中。該設(shè)備大范圍控制爐內(nèi)溫度的能力，配備計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)后，可靈活實(shí)現(xiàn)熱處理過(guò)程控制，用戶(hù)根據(jù)自己的設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)熱處..
發(fā)布機(jī)構(gòu)：
北京航天航天大學(xué)
共
1
頁(yè) 總數(shù)：
2
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