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系列羅茨干式真空泵機組

關鍵字：羅茨干式真空泵機組

所屬行業(yè)：其他

發(fā)布時間：2015-12-15

價格：

所在地區(qū)：遼寧沈陽

合作信息期限：2017年4月

合作信息類型：意向合作

機構類型：科研院所

供求關系：供應

合作信息簡介：該成果解決了潔凈真空獲得系統(tǒng)與集成電路制造工藝的優(yōu)化組合、理論型線設計與多種轉子形式的組合、密封結構和振動/噪聲抑制技術、表面防腐技術、控制/反饋軟件與通用控制接口結合、電機與驅動系統(tǒng)設計等關鍵技術，具有完全自主知識產(chǎn)權，可應用于標準/中度腐蝕/強度腐蝕等各種工藝環(huán)境，技術水平達到..

發(fā)布機構：中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

系列渦旋干式真空泵

關鍵字：渦旋干式真空泵

所屬行業(yè)：其他

發(fā)布時間：2015-12-15

價格：

所在地區(qū)：遼寧沈陽

合作信息期限：2017年4月

合作信息類型：意向合作

機構類型：科研院所

供求關系：供應

合作信息簡介：渦旋干式真空泵是一種真正意義上的清潔無油、高效率的真空獲得設備，主要應用于集成電路、半導體、醫(yī)療、生物制藥、食品等領域，解決了真空儀器設備的油污染問題，成為了世界上發(fā)展最快的泵種之一。沈陽科儀公司攻克了渦旋型線修正、渦旋盤加工工藝、泵表面處理方法、密封材料、間隙與極限真空關系研..

發(fā)布機構：中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

共1頁總數(shù)：4條

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